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PA-LAMIII-01B三軸加速度傳感器由西安精準(zhǔn)測控有限責(zé)任公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有BIMOS信號限制電路。
PA-LAMIII-01B三軸加速度傳感器說明書
一、簡介
PA-LAMIII-01B三軸加速度傳感器由西安精準(zhǔn)測控有限責(zé)任公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有BIMOS信號限制電路。設(shè)計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅固性，并具自檢測（Self-Test）等功能，可實現(xiàn)自檢測。
本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。
二、原理
PA-LAMIII-01B三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質(zhì)塊相連的中央板形成的差動電容器機(jī)構(gòu)來測量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號。
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性能 |
PA-LAMIII-01B 性能 |
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Ax，Ay，Az |
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測量范圍（g） |
±2 |
±4 |
±8 |
±10 |
±20 |
±40 |
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靈敏度（mV/g） |
1000±15 |
500±8 |
250±4 |
200±3 |
100±2 |
50±1 |
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帶寬（10%，Hz） |
0～1000 |
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零g偏置電壓（V） |
2.5±0.05 |
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滿量程輸出（V） |
0.5-4.5 |
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零偏溫度變化（mg/°C） |
±0.2~±0.8 |
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交叉軸影響（%） |
≤2 |
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非線性度(％F.S) |
≤0.1 |
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噪聲密度（ug/√Hz） |
20~80 |
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供電要求 |
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供電電壓(VDC) |
12±0.5 |
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輸入電流（mA） |
≤20 |
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工作環(huán)境 |
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使用溫度（°C） |
-45～+85 |
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抗沖擊（g） |
5000 |
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重量、體積 |
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重量(g) |
≤20 |
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體積（mm3） |
21.6×21.6×12.4 |
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四、接線端子定義
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引線號 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
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顏色 |
紅 |
黑 |
藍(lán) |
黃 |
白 |
屏蔽 |
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定義 |
12v |
GND |
Ax |
Ay |
Az |
殼體地 |
本產(chǎn)品可用于汽車測控、
慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、
地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、
振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。
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